该交易于2013年11月19日向商务部申报经营者集中反垄断审查，2014年1月26日，商务部正式立案审查。由于案件非常复杂，限于审查时限的要求，合并双方曾分别于2014年7月21日、2015年2月3日两次主动撤回案件，并重新申报。目前，该案处于第三次申报的进一步审查阶段。从立案至两公司放弃合并，审查工作已持续了1年零3个月。

　　在审查过程中，商务部多次会见合并双方及其代理律师，就相关商品市场界定、竞争关注、救济措施等问题进行了认真交流讨论，并通过召开座谈会、发放调查问卷、赴企业现场调查等方式，广泛征求意见和听取建议。

　　交易双方均为芯片设备生产企业，在芯片设备制造领域具有较高的市场份额，合并将严重改变相关市场结构，对市场竞争产生重大影响。中国是全球最大芯片消费国，设备市场竞争格局的改变将严重影响中国芯片消费者的利益。根据《反垄断法》要求，对具有或可能具有排除、限制竞争效果的经营者集中，商务部应当作出禁止经营者集中的决定或者附加减少集中对竞争产生不利影响的限制性条件。因该交易也需要得到美国、韩国等司法辖区的批准，审查期间，商务部与美国司法部、韩国公平交易委员会等保持了密切的联系和沟通。由于交易双方提出的救济措施没有解决商务部以及其他相关司法辖区的竞争关注，交易双方宣布放弃合并计划。